• 顯影液STM-190

  
  

STM-190 主要目的為應用於曝光後的幹膜(光阻劑)的顯影。一般市售之碳酸鈉
（Na2CO3）顯影液，大約含有 2%之雜質，這些雜質為灰份、泥塵、細砂或其他不易溶解之礦物質所組成，並極易與顯影液內之幹膜屑及消泡劑結合成不易溶解之膠凝物（Gel），造成槽壁，管路濾網與噴嘴之阻塞，亦可能殘留於板面上造成顯影不潔而衍生出許多困擾。
STM-190 針對幹膜顯影，其特點為具有較穩定的 pH 值及總碳酸鹽量容易控制的優點。在配制過程中，即將純碱予以純化，同時其特殊之添加劑，更能加快顯影速度，防止硬水水垢（Scale）產生，並且於顯影後的水洗段具有較低的泡沫量，因此不會造成顯影的不穩定性，並使槽液壽命延長達純碱之 3~5 倍。